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**小编带你了解陕西特种气体的设计和施工

所属分类:热门资讯    发布时间: 2022-11-19    作者:admin
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在一家技术先进的大型集成电路工厂的硅片制造过程中,整个过程中使用了大约50种不同的电子气。其中大部分是陕西特种气体。本文对特种气体系统的设计与施工作了简要说明。

陕西特种气体

一:概念

特种气体输送系统是指:来自气源端的特种气体,根据工艺设备的工艺要求,通过流量、压力等参数的控制,通过管道,无二次污染,稳定输送至气体工艺装备点。

基本流程为:气源→控制柜→管道输送→VMB→气点

2:分类

特种气体一般分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包的不同分为:特种气体和散装特种气体。

三:供气系统的选择

1、简单的供气系统

简易供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂,半导体材料科研机构,以及一些单一工艺设备。它们的工艺简单,通常不需要连续供气,供气系统的投资预算低。

由于气体流量小,不经常使用,特种气体的气源通常为普通钢瓶(<50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架,控制面板简单;设有继电器控制、自动切换、手动吹扫、手动放空、有害气体紧急切断阀。惰性气体瓶架采用全手动系统,有的甚至采用单瓶系统。所有气体共用一个气室,甚至没有气室。特种气瓶和输送系统有时放置在回气通道中,或直接放置在工艺制造设备旁边或旁边。如果没有特别危险的气体,一般共用一个通风系统。简单的供气系统通常存在安全隐患。

2、常规供气系统

常规供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路厂、50MW以下太阳能电池生产线、发光二极管芯片工艺线等中等规模用气电子行业。对气体纯度控制要求不严格,系统配置在满足安全要求的情况下尽可能简单,节省投资。

特殊气体使用普通通过钢瓶(<50L)供气。特种气体输送系统采用气瓶柜。配备全自动PLC控制器和彩色触摸屏;气体面板采用气动阀和压力传感器,可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气;多重安全保护措施,漏电检测,远程紧急切断;专用氮气吹扫描产地等。 VMB采用旁路气动阀,氮气吹扫,真空辅助抽真空。惰性气体多采用半自动气瓶架,继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空; VMB主气动阀,氮气吹扫;分支气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。气体室和抽气系统根据气体的性质分类。

      以上就是关于陕西特种气体的设计和施工的全部内容了,更多相关资讯请关注小编哦。