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陕西特种气体的分类

超高纯气体：指纯度在99.9999%以上的高纯气体，如超高纯氮气、超高纯氩气、超高纯氧气、超高纯氧气等。纯氢。

高纯气体：高纯氧气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氢气、高纯乙炔、高纯二氧化碳等。常用于各种实验室和科研单位。

液化气体：液氧、液氮、液氩、液态二氧化碳等，一般用杜瓦瓶运输，..禁止平躺。

气瓶

医用气体：.常见的有医用氧气、笑气等，医用氧气绝不是高纯度氧气。它实际上是氧气和其他气体按比例混合而成。长期在家吸氧的患者，应到专业医疗机构购买家用氧气。

普通气体：指工业生产中使用的纯度较低的气体。常见的有氧气、氩气、氮气、干燥空气、乙炔、二氧化碳等。

混合气体：按客户要求按比例配制的两种或多种气体的混合物。分为几大类，激光混合气体、焊接混合气体、标准校准混合气体等。

特种气体：指稀有气体和电子气体。稀有气体包括氪气、氖气、氙气、氦气等；电子气体包括三氟化氮、硅烷等。

气瓶：气瓶是储存和输送气体的高压容器。一般由合金结构钢经热冲压而成，呈圆柱形。气瓶肩部均标有工作压力、试验压力、体积、重量等信息。

铝合金无缝气瓶：采用具有良好工艺性能和耐腐蚀性能的铝合金。经熔化处理、水淬、人工时效而成。

1、简单的供气系统

简易供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂，半导体材料科研机构，以及一些单一工艺设备。它们的工艺简单，通常不需要连续供气，供气系统的投资预算低。

由于气体流量小，不经常使用，特种气体的气源通常为普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架，控制简单控制面板;设有继电器控制、自动切换、手动吹扫、手动放空、有害气体紧急切断阀。惰性气体瓶架采用全手动系统，有的甚至采用单瓶系统。所有气体共用一个气室，甚至没有气室。特种气瓶和输送系统有时放置在回气通道中，或直接放置在工艺制造设备旁边或旁边。如果没有特别危险的气体，一般共用一个通风系统。简单的供气系统通常存在安全隐患。

2、常规供气系统

常规供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路厂、50MW以下太阳能电池生产线、发光二极管芯片工艺线等中等规模用气电子行业。对气体纯度控制要求不严格，系统配置在满足安全要求的情况下尽可能简单，节省投资。

特殊气体由普通钢瓶（<50L）供应。特种气体输送系统采用气瓶柜。配备全自动PLC控制器和彩色触摸屏；气体面板采用气动阀和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气；多重安全保护措施，漏电检测，远程紧急切断；专用氮气吹扫描产地等。 VMB采用旁路气动阀，氮气吹扫，真空辅助抽真空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空； VMB主气动阀，氮气吹扫；分支气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体室和抽气系统根据气体的性质分类。

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