陕西秦唐新时代气体有限公司

     陕西特种气体一般按气体性质不同分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应和包装的不同，分为特殊气体和散装特殊气体。

供气系统的选择

1、简单的供气系统

简易供气系统主要面向4英寸及以下的半导体芯片厂、半导体材料科研机构，以及一些单一的工艺设备。它们的制造工艺简单，通常不需要连续供气，供气系统的投资预算较低。

由于气流量小，不常使用，专用气源多为普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简易控制面板；配备继电器控制、自动切换、手动吹扫、手动放空、有害气体紧急切断阀。惰性气体瓶架采用全手动系统，有的甚至采用单瓶系统。所有气体共用一个气室，甚至没有气室。特殊的气瓶和输送系统有时会放置在回风管道中，或者直接放置在工艺制造设备旁边或旁边。如果没有特别危险的气体，一般采用普通排气系统。简单的供气系统通常存在安全隐患。

2、常规供气系统

常规供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路厂、50MW以下太阳能电池生产线、发光二极管芯片生产线等中型用气电子行业。对气体纯度控制要求不苛刻，在满足安全、节省投资的前提下，系统配置尽可能简单。

陕西特种气体由普通钢瓶（<50L）供应。特殊气体输送系统采用气瓶柜。配备全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气；多重安全保护措施，泄漏检测，远程紧急关闭；专用氮吹扫查产地等。 VMB采用分支气动阀，氮气吹扫，真空辅助抽真空。惰性气体大部分采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空； VMB主气动阀，氮气吹扫；分支气动阀、氮气吹扫和真空辅助抽真空。气室和排气系统按气体性质分类。

3、散装特种供气系统

大型供气系统主要用于8-12英寸（1英寸=25.4毫米）VLSI装置（气体种类包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等）、100MW以上太阳能电池生产线（气体种类包括NH3）、发光二极管外延生产线（气体种类包括NH3）、第5代及以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、 CL2、NH3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。他们投资规模巨大，采用.先进的技术和工艺设备，对气体的需求量大，对稳定不间断供应、纯度控制和安全生产提出了.严格的要求。

这些工厂的特殊气体供应，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特殊气体外，还有很多种类的特殊气体是大包装容器常用的，所以称为散装特殊气体包括Y钢缸（450L）、T钢缸（980L）、集装箱舱（940L）、ISO罐（22500L）、鱼雷车（13400L）等。

大体积特种供气系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气；多重安全保护措施，漏电检测，远程紧急切断；专用氮气吹扫的来源等。 专用气采用独立气源，多用点采用VMB或VMP支路供气，VMB或VMP采用支路气动阀、氮气吹扫、真空辅助抽真空等。由于BSGS用量大采用气源、独立气室和独立排气系统。

燃气房的选择与设计

除简单的供气系统外，专用气室一般与主室分开建造。规划需要考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间隔距离、有害物质总量控制等。常规供气系统一般在一个气室中使用多个气瓶柜；对于大宗特殊气体，气室根据气体特性和相容性分为可燃气体室、腐蚀性气室、惰性气体室和气体室。硅烷气室、毒气室等。气室必须通风良好。气室的选择和设计一般由设计院完成。

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