陕西秦唐新时代气体有限公司

陕西特种气体按气体性质不同一般分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包不同，分为：特种气体和散装特种气体。

供气系统的选择

1.简单的送风系统

简易送风系统主要针对4英寸及以下的半导体芯片厂，半导体材料研究机构，以及一些单制程设备。它们的工艺简单，通常不需要连续供气，供气系统的投资预算较低。

由于气体流量小，不经常使用，专用气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架及简易控制面板；配有继电器控制、自动切换、手动吹扫、手动放空、有害气体紧急切断阀。惰性气体钢瓶架是全手动系统，有些甚至使用单瓶系统。所有气体共用一个气室，甚至没有气室，特殊的气瓶和输送系统有时放置在回风通道中，或者直接放置在工艺制造设备旁边或旁边。如果没有特别危险的气体，一般共用一个排气系统。简单的供气系统通常存在安全隐患。

2、常规供气系统

常规供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路厂、50MW以下太阳能电池生产线、发光二极管芯片工艺线等中型耗气电子行业。对气体纯度控制要求不苛刻，在满足安全和节省投资的前提下，系统配置尽可能简单。

特殊气体由普通钢瓶（<50L）供应。特种气体输送系统采用气瓶柜。配备全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气；多重安全保护措施，泄漏检测，远程紧急停机；特殊氮气吹扫 原点扫描等 VMB采用分支气动阀，氮气吹扫，真空辅助抽真空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动排空； VMB主气动阀，氮气吹扫；分支气动阀，氮气吹扫，真正的辅助排空。气体室和提取系统根据气体特征被分类。

3、大型陕西特种气体供应系统

大型供气系统主要用于8-12英寸（1英寸=25.4毫米）VLSI工厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等）的量产，以上太阳能电池生产线100MW（气体类型包括NH3）、LED外延工艺线（气体类型包括NH3）、5代以上LCD工厂（气体类型包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体类型包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。他们巨大的投资规模，先进的工艺设备，巨大的气体需求，以及对稳定不间断供应、纯度控制和安全生产的.严格要求。

对于这些工厂的特殊气体供应，除了用普通钢瓶（50L及以下）包装的特殊气体外，还有各种大包装容器中常用的特殊气体，所以称为散装特殊气体，包括Y-型气缸（450L 及以下）。 )、T型气缸(980L)、容器(940L)、ISO罐(22,500L)、鱼雷车(13,400L)等。

大宗特种气体供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器和彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气；多重安全保护措施，泄漏检测，远程紧急停机；专用氮气吹扫气源等 特殊气体采用独立气源，多用点采用VMB或VMP供气，VMB或VMP采用气动阀、氮气吹扫、真空辅助抽空等. 多采用BSGS气源、独立气室、独立排气系统。

气室的选择与设计

除了简单的供气系统外，特殊的气室通常独立于主气室建造。规划时应考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆距离、有害物质总量控制等。传统供气系统气室一般采用多种气瓶柜；对于大宗特殊气体，气室根据气体特性和相容性分为可燃气体室、腐蚀性气体室和惰性气体室。和硅烷气室。 、气室等。气室必须通风良好，气室的选型设计一般由设计院完成。

管道系统设计

1.材料选择

特殊气体管道系统一般采用316L不锈钢电抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精度过滤器、（<0.003微米）、VCR接头等。管道与气体接触部分可控制在5uin以内。对于CL2等一些腐蚀性强的气体，采用经过特殊处理、耐腐蚀性强的EP管。

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